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美国METONE标准粒子发生装置255标准离子发生器

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信息简介:美国METONE标准粒子发生装置255标准离子发生器

详细信息:
“美国METONE标准粒子发生装置255标准离子发生器”参数说明
类型: 激光校准 型号: 255
规格: 台式 商标: METONE
包装: 箱装
“美国METONE标准粒子发生装置255标准离子发生器”详细介绍
现假设对一台常见的Metone227B作校正?首先,要清楚Metone3413和Metone227B有何差别,其测试原理一样,但Metone3413流速为1CFM(立方英尺/分钟),而Metone227B则为0.1CFM。?首先,请将洁净台开机,工作半小时,其间内也打开Metone227B和Metone3413,让其预热半小时。?准备好255的取样器管,并搭接好其所有气体管路。?将配好的标准液(如0.301um)放入脱原子瓶中,注意勿让液体超过喷嘴。?设置Metone3413和Metone227B的基本参数?取样时间都设置为00:01:00?取样次数都设置03?取样模式都设置为Auto?间隔时间都设置为00:00:05?读数模式都设置为Cumulative注:以上设置相同,因其流速有10倍差,故Metone3413测试结果会是Metone227B的10倍。?此时,打开255电源,调节脱原子气体阀和干燥气体阀,在调至喷嘴阀处呈气雾出现,干燥气体流速计约60SCFH时后,保持其工作状态。?此时,让Metone227B和Metone3413同时工作,看其三次的平均结果,若在20%以内,视为合格。?拆下脱原子瓶,重新滴入其它标准粒子,重复该测试。?以上校正只是对比校正,尚可用万用表对其基本参数测量,用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。
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